用于自动校正膜片架上的晶圆的旋转错位的系统和方法

Abstract

自动地校正未适当地安装在膜片架上的晶圆的旋转错位包括在检查系统开始晶圆检查过程之前,使用图像捕获装置捕获晶圆的多个部分的图像;数字地确定晶圆相对于膜片架和/或图像捕获装置的视野的一组参考轴的旋转错位角度和旋转错位方向;以及借助于与检查系统分离的膜片架操持设备校正晶圆的旋转错位,所述晶圆操持设备被构造为在与旋转错位方向相反的方向上将膜片架旋转旋转错位角度。能够在没有减少膜片架操持吞吐量或检查处理吞吐量的情况下,在将膜片架放置在晶圆台上之前进行这样的膜片架旋转。

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